鈦濺射靶材於高科技產業中的應用

出版日期 2022-01-27
作者 李盈瑩
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摘要

鈦基材料因具有良好的耐腐蝕性能以及密度低、比強度高等優良物理特性,在真空鍍膜領域中,常被做為靶材來製作鈦基複合材料,進而提高基材性能和使用壽命,也促進鈦材在工業領域中的應用。

本篇即從濺射靶材產業切入,包括產業應用與結構占比,再帶到全球主要靶材的材料、用途與性能要求等,以及鈦金屬於濺射靶材領域之應用與機會,並思考台灣在高階半導體靶材上的需求及國產自主供應鏈議題。

目錄

一、前言
二、濺射靶材應用
三、鈦靶材應用與發展

圖目錄

【圖1】臺灣製造升級之絕佳機會
【圖2】靶材產業細分類佔比
【圖3】高純度濺射靶材產業鏈

表目錄

【表1】各類濺射靶材的應用領域和主要用途
【表2】全球主要靶材製造業者
【表3】2021~2031全球各類材料濺射靶材市場預測
【表4】2021~2031全球各類材料半導體濺射靶材市場預測