AMAT鈷金屬材料變革分析

出版日期 2019-05-22
作者 陳致融
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摘要

當前針對高性能晶片的要求,希望不斷提升效率,並且降低功耗,擴大儲存空間的情況下,透過延續摩爾定律,將先進製程不斷的向下發展已成為不可逆的發展方向。隨著先進製程往7奈米以下製程發展,因製程的銅材料導線會因為導電速率的不足,無法滿足7奈米製程的需求,使得先進製程發展上碰上阻礙。因此,應用材料(AMAT)開始研發以鈷來取代銅,成為未來先進製程中導線材料的可能。

目錄

一、材料變革歷程
二、AMAT鈷材料與設備發展現況
三、結論

圖目錄

【圖1】AMAT 整合鈷材料應用於系統平台