台積電5奈米製程發展進程與我國設備商機

出版日期 2018-08-06
作者 陳致融
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摘要

台積電為全球晶圓代工廠龍頭,為了對抗三星、英特爾等大廠,持續在台灣投資先進製程及擴建廠。2018 年 1 月 26 日台積電公布在南部科學工業園區舉行晶圓十八廠第一期動土典禮,十八廠是台積電在台灣的第四座超大型十二吋晶圓廠,將生產 5 奈米製程,預計在 2019 年完工,並於 2020 年進入量產,這將是全球首家提供 5 奈米晶圓代工的廠商。此外,5 奈米先進製程帶動設備的開發,在前段製程設備我國以設備代工為主,為國際設備大廠代工生產設備耗材、零組件、模組、備品等。後段製程設備中,台積電投入 InFO 製程,促使國內設備大廠相繼投入開發相關設備,如晶片取放、烘烤設備、濕式清洗、底部填膠、晶圓刻印及晶圓切割等設備,增進台灣半導體設備產業的國際競爭力。

目錄

一、5 奈米廠發展近程
二、5 奈米製程技術發展現況
三、我國半導體設備業商機
四、結論

表目錄

【表1】台積電 5 奈米廠發展進度
【表2】台積電 5 奈未來主要研發計劃
【表3】國內半導體設備廠商發展先進封裝設備現況